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產(chǎn)品中心

當前位置:首頁產(chǎn)品中心鈣鈦礦太陽能電池制備PCE-6--小型等離子清洗機

--小型等離子清洗機
產(chǎn)品簡介:

--小型等離子清洗機
應用范圍:PCE-6小型等離子清洗機的等離子腔體為Ø160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。

產(chǎn)品型號:PCE-6

更新時間:2025-02-18

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

訪問量:514

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0755-26959531

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產(chǎn)品介紹
PCE-6--小型等離子清洗機的等離子腔體為?160mm×190mm的石英腔體,采用的射頻電源功率3.0MHz(1%),輸出功率7.2W、10.2W、29.6W三檔可調(diào)。本機主要是通過空氣、氧氣或氬氣等氣體的等離子體來去除基片上的氧化層和污染物,同時也可改變物體表面的性質(zhì)(如親水和疏水性等),對于基片的清洗以及薄膜處理是較為理想的設備。
功能特點
  • 通過控制面板的按鍵及開關,可控制調(diào)節(jié)射頻功率、真空泵的開閉、清洗時間;

  • 時間、功率、真空度等信息顯示在一組4位數(shù)碼管上;

  • 設有一個三通閥,可精確控制進氣流量,以及大氣流清洗腔體,進氣接口為6mm卡套接口;

  • 選用大功率射頻電源設備可進行等離子刻蝕和等離子灰化實驗;

  • --小型等離子清洗機

  • 設備可實現(xiàn)清洗及蝕刻功能如下:

    --小型等離子清洗機
技術參數(shù)
電源單相AC220V±10%,頻率:50Hz/60Hz,總功率約600W(含真空泵)
輸出功率7.2W、10.2W、29.6W
射頻頻率3.0MHz,功率3檔可手動調(diào)節(jié)
等離子腔體高純石英腔體,?160mm×190mm,采用鋁制折疊式法蘭進行密封,法蘭上設有?45mm的觀察窗
真空泵標配直連式雙旋真空泵,流量120L/min,功率約500W
極限真空度50mtorr
通入氣體可通入多種氣體來產(chǎn)生等離子,如N2、Ar、H2、O2、Air和混合氣體等(根據(jù)材料性質(zhì)選定)
外形尺寸約L400*W300*H300mm(不含真空泵)
重量約10.2kg(不含真空泵)



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